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                半导体纯水系统◎技术应用 成为行业用水重中之重

                作者:莱特莱德时间:2021-12-08

                   半导体行业是一个高能耗的行业。在半导体产品制造过程中,由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,尤其对超纯水系统的使用要求更高。

                  在半导体制ㄨ作工艺中,50%以上的工序中硅片与超纯水直接接触、80%以上的工序需要进行化学处理,而化№学处理又与超纯水有关水中的杂质会进入硅片,如带入过量的杂质,就会导致器件性能下降、影响产品性能。因此,制备高品质的超纯水已成为发展大规模集成电路的重要前提技术。

                  超纯水既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水︾中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。电阻率大于18M Ω*cm,或接近18.3M Ω*cm极限值(25℃)。

                  超纯水处理是一般工艺很难达到的程度,莱特莱德采用预处理、反渗透技术、靶向离子交换系统以及后级处理四大步骤,独有的靶向离子△交换系统针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除,保证出水硼离子能够稳定≤5ppt。

                  半导体业由于技术发展迅速、市场变化大,其生产能力←具有波动性。所以,要求与之配套的半导体纯水系统要有一定的可调节性、留有合理的余量,对超【纯水设备供水的灵活性,安全性,及时性,提出了更高的要求。莱特莱德半导体纯水系统投入运行后,能够生产出合格的电阻率为18MQ *CM的超纯水,为半导体用︼水提供用水保障。

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