半导体纯水系统◎技术应用 成为行业用水重中之重
半导体行业是一个高能耗的行业。在半导体产品制造过程中,由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,尤其对超纯水系统的使用要求更高。
在半导体制ㄨ作工艺中,50%以上的工序中硅片与超纯水直接接触、80%以上的工序需要进行化学处理,而化№学处理又与超纯水有关水中的杂质会进入硅片,如带入过量的杂质,就会导致器件性能下降、影响产品性能。因此,制备高品质的超纯水已成为发展大规模集成电路的重要前提技术。
超纯水既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水︾中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。电阻率大于18M Ω*cm,或接近18.3M Ω*cm极限值(25℃)。
超纯水处理是一般工艺很难达到的程度,莱特莱德采用预处理、反渗透技术、靶向离子交换系统以及后级处理四大步骤,独有的靶向离子△交换系统针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除,保证出水硼离子能够稳定≤5ppt。
半导体业由于技术发展迅速、市场变化大,其生产能力←具有波动性。所以,要求与之配套的半导体纯水系统要有一定的可调节性、留有合理的余量,对超【纯水设备供水的灵活性,安全性,及时性,提出了更高的要求。莱特莱德半导体纯水系统投入运行后,能够生产出合格的电阻率为18MQ *CM的超纯水,为半导体用︼水提供用水保障。
公司新闻new
- 淡水资源“陷入困境” 海水淡化设备“挺身而出”
- 超纯水能喝,是真的还是错觉?
- 半导体纯水系统技术应用 成为行业用水重中之重
- 超纯水设备成就勇敢的“芯”
- 化压力为动力∩ 超纯水设备助力国产芯片迎来“春天”
- 争做々制药行业“绿色生态”发展的先驱者
- 植物提取液浓缩设备助力植物提取物行业步入“快车道”
- “绿色设计”理念 膜分离技术应用提取麻黄碱
- 膜分离技术助力硅片研磨废水回用 造福半导体行业
- 化工废水不再难“消化” Neterfo极限分离系统迎难而上
工程业绩new
- 青岛某电厂安装集装箱海水↙淡化系统现场
- 山西某燃煤电厂中水回用项目
- 500m3/h中水回用及部分零排放系统
- 大连某印染公司中水回用项目
- 内蒙古某火力电厂废水近零排放项目
- 某海岛集装箱海水淡化设备项目
- Aproclean系列智能高效过滤系统优势介绍
- 江苏省△某光伏企业超纯水制取项目介绍
- 高效除铁锰过滤系统在海水淡化项目中的应用
- 山东某精细化工厂高浓度有机废水处理项目
技术资料new
- 提升选矿废水处理技术 实现行业清洁化生产
- 钢铁含油废水VS极限分离系统 谁是▓谁的克星
- 反渗透设备卐攻克工业废水处理 解锁“零排放”
- 碟管式反渗透设备 高含盐有机废水的强敌
- 双级反渗透系统回收PTA废水中的醋酸
- 双级反渗透系统回用硅片清洗废水
- 提升中水回用利用率 缓解水资源短缺矛盾
- 重金属废水来源广泛 如何回用成关键
- 焦化废水零排放要求不断提高 使膜分离技术成为必然
- 实现洗涤废水零排放好处多
联系方式
